F系列質(zhì)量流量計僅用于測量氣體的質(zhì)量流量
發(fā)布日期：2017-07-21 瀏覽次數(shù)：2020
F系列質(zhì)量流量計僅用于測量氣體的質(zhì)量流量。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。 F系列質(zhì)量流量計用于測量氣體的質(zhì)量流量，其測量值不因壓力或溫度的波動而失準(zhǔn)，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正。對于一般的體積流量計（如轉(zhuǎn)子流量計），在相同的體積流量指示下，當(dāng)壓力、溫度改變時，其實際克分子流量會發(fā)生較大變化，而F系列質(zhì)量流量計則基本不受影響。
質(zhì)量流量控制器不僅能測量氣體的流量，具備流量計的功能，而且它還能控制流量，它本身具有檢測控制電路和流量調(diào)節(jié)閥，是一個閉環(huán)控制單元。用戶可以根據(jù)需要在量程范圍內(nèi)任意給定流量設(shè)定值，mfc會自動跟蹤設(shè)定值而改變流量并穩(wěn)定在設(shè)定值上。如果希望定量地獲得流量，要求流量保持恒定或根據(jù)需要而動態(tài)改變，或需要自動測量 和控制流量，則質(zhì)量流量控制器是Z佳的選擇。
氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來表示，質(zhì)量流量單位規(guī)定為:sccm---標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,slm---標(biāo)準(zhǔn)升/分標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指：溫度—0℃,氣壓—101325pa(760mmhg)。因為在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個常數(shù)，密度乘以體積流量就等于質(zhì)量流量，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。F系列質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器在使用過程中，無論工作氣體的溫度、壓力如何變化，它所顯示的流量總是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量。這是F系列質(zhì)量流量計的主要優(yōu)點。
